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潔淨室關于百級，千級萬級的要求及應用. 2006-9-29

目前對潔淨室等級劃分最常用的是美國聯邦FS 209E標准.
常說的100級潔淨室說的就是指在1立方英尺的空間內，大于等于0.5微米的粒子必須不多于100個，10級就是1立方英尺的空間，0.5微米的粒子必須不多于10個，1000級則不能多于1000個.一般來說，1級潔淨室主要用于制造大規模集成電路的微電子工業；10級的潔淨室主要用于帶寬小于2微米的半導體行業；100級是最常用的潔淨室，可用于醫藥中的無菌制造工藝、外科手術、人造內髒器官和集成電路生産；1000級主要用于光學産品和高質量微型軸承的生産，以及飛機陀螺儀的測試；10000級用于液壓設備或氣壓設備的生産，有些情況下也用于食品飲料的生産；100000級用于很多工業部門生産部門，食品飲料和醫藥行業也常常使用這一級潔淨室。

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