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洁净室关于百级，千级万级的要求及应用. 2006-9-29

目前对洁净室等级划分最常用的是美国联邦FS 209E标准.
常说的100级洁净室说的就是指在1立方英尺的空间内，大于等于0.5微米的粒子必须不多于100个，10级就是1立方英尺的空间，0.5微米的粒子必须不多于10个，1000级则不能多于1000个.一般来说，1级洁净室主要用于制造大规模集成电路的微电子工业；10级的洁净室主要用于带宽小于2微米的半导体行业；100级是最常用的洁净室，可用于医药中的无菌制造工艺、外科手术、人造内脏器官和集成电路生产；1000级主要用于光学产品和高质量微型轴承的生产，以及飞机陀螺仪的测试；10000级用于液压设备或气压设备的生产，有些情况下也用于食品饮料的生产；100000级用于很多工业部门生产部门，食品饮料和医药行业也常常使用这一级洁净室。

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